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Autosamdri?-815B, Series B

Autosamdri?-815B, Series B

Smooth operation and precise control are the Supercritical Autosamdri?-815B′s trademark; wafer holders and inserts are provided that allow anti-stiction processing up to 5 pieces of either 4" (100mm), 3" (75mm), 2" (50mm) wafers or 10mm square die per process run!

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Smooth operation and precise control are the Supercritical Autosamdri?-815B′s trademark; wafer holders and inserts are provided that allow anti-stiction processing up to 5 pieces of either 4" (100mm), 3" (75mm), 2" (50mm) wafers or 10mm square die per process run!

特点:
  • 4”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪;
  • 通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性;
  • 所有内表面均适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮;
  • 可重复设定的操作参数确保了结果的可重复性;
  • 集成自动控温;
  • 内置圆盘裂片保证安全;
  • 可以一次干燥5片直径为4”的圆晶,更换样品架,也可以一次干燥5片直径3”、2”的圆晶或5片边长为10mm的方晶(提供HF兼容的样品架);
  • 静态压力控制???,自动控制系统压力和保持压力稳定性;
  • 0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室;
  • 内腔有照明灯,样品室盖子带观察窗,便于观察样品室内部状态;
  • 拥有高效隔热的冷却系统,使系统能够迅速从室温降到将近0°C;
  • 每个操作模式LED显示,一目了然;
  • 洁净室和防静电兼容设计;
  • 标配SOTERTM冷凝器,分离废弃乙醇和废气二氧化碳。
  • 样品室填块可以调整样品室内径到3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和处理时间达到最大化;
  • 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准;


规格:
  • 外部尺寸:宽14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 长25.0” (63.5cm);
  • 占地尺寸:宽42” (107 cm) × 深30” (76 cm);
  • 样品室尺寸:内径4.5” × 深1.25”,样品室容积:326 ml;
  • 温度范围:- 30 ℃ 至 60 ℃,压力范围:0 - 2000 psi;
  • LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型微型计量阀门来控制;
  • 120V/50-60HZ(可选其他电压);


标准配件:
  • 高压不锈钢LCO2管(内衬Teflon) 3 米长;
  • 外部LCO2过滤装置,去除水/油以及颗粒(小至0.5μm),过滤装置可预先与LCO2管连接,安装方便;
  • SOTERTM冷凝器,分离废弃乙醇和废气二氧化碳,降低排气噪音;
  • 防静电排气管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气;
  • 内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同?;は呗?、晶片和阀门
  • 样品室O型圈3个,样品室照明灯2个,5A保险丝2个;
  • 3个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括4、3、2和1.25英寸;
  • 直径为4、3、2英寸圆晶的样品架和边长为10 mm方晶样品架,样品架HF兼容;
  • 流量计,可精确控制BLEED的排气速率;
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