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Autosamdri?-815, Series B

Autosamdri?-815, Series B

Smooth operation and precise control are the Supercritical Autosamdri?-815's trademark; allowing anti-stiction processing of 10mm square die as well as 1" (25mm) wafers.

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Smooth operation and precise control are the Supercritical Autosamdri?-815's trademark; allowing anti-stiction processing of 10mm square die as well as 1" (25mm) wafers.

特点:
  • 方晶和1”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪;
  • 通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性;
  • 电磁阀门以及密封适用于LCO2、乙醇及丙酮;
  • 内表面适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮;
  • 可重复设定操作参数确保了结果的可重复性;
  • 每次运行可以处理5×10mm的方晶或5×1”的圆晶,(提供可以兼容HF的样品架,方便处理样品);
  • 集成自动控温;
  • 内置圆盘裂片保证安全;
  • 每个操作模式LED显示,一目了然;
  • 洁净室和防静电兼容设计;
  • 先进的固态电子系统;
  • 高效隔热冷却系统:在90秒内可以把样品室从室温冷却到操作所需温度;
  • 静态压力控制???,自动控制系统压力和保持压力稳定性;
  • 0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室;
  • 内腔有照明灯,样品室盖子带观察窗,便于观察样品室内部状态;
  • 微型计量阀门带游标卡尺,可实现重复设定及控制流速;
  • 标配SOTERTM冷凝器,分离废弃乙醇和废气二氧化碳。
  • 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准;

规格:
  • 外部尺寸:宽14.0” (35.6 cm) × 高10.25” (26.0 cm) × 长21.5” (54.6cm);
  • 占地尺寸:宽36” (92 cm) × 深30” (76 cm);
  • 样品室尺寸:内径1.25” × 深1.25”; 样品室容积:25ml
  • 温度范围:- 30 ℃ 至 60 ℃,压力范围:0 - 2000 psi;
  • Purge时间范围:0-45 min
  • 120V/50-60HZ(可选其他电压);


标准配件:
  • 高压不锈钢LCO2管(内衬Teflon) 3 米长;
  • 外部LCO2过滤装置,去除水/油以及颗粒(小至0.5μm),过滤装置可预先与LCO2管连接,安装方便;
  • SOTERTM冷凝器,分离废弃乙醇和废气二氧化碳,降低排气噪音;
  • 防静电排气管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气;
  • 内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同?;は呗?、晶片和阀门
  • 流量计,可精确控制BLEED的排气速率;
  • 样品室O型圈2个,样品室照明灯2个,5A保险丝2个;
  • HF兼容的10mm方晶PTFE插片架,每次操作最多能装载5个晶片
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